Estudo da corrosão anisotrópica do silício em solução 1m de NaOH

Autores

  • Jorge Luis Lima Universidade Estadual de Campinas
  • Airton Lourenço Universidade Estadual de Campinas

DOI:

https://doi.org/10.20396/sinteses.v1i3.7731

Palavras-chave:

Corrosão anisotrópica. MEMS. Silício

Resumo

Este trabalho foi realizado no LAMULT – Laboratório Multiusuários do Instituto de Física “Gleb Wataghin” da Unicamp e teve como objetivo o estudo da corrosão anisotrópica da superfície de silício em solução de 1.0 Molar de NaOH. O entendimento dos processos de corrosão em silício tem despertado interesse principalmente para obtenção de arquiteturas especiais de superfícies para produção de MEMS. A corrosão é denominada anisotrópica quando a dissolução dos cristais tem preferências geométricas, sendo cristalográficas ou não. A anisotropia em uma corrosão úmida é observada quando são utilizadas soluções alcalinas, como NaOH e KOH entre outras. As taxas de corrosão na superfície do silício são em geral influenciadas por vários parâmetros, tais como: concentração do hidróxido, temperatura, agitação, defeitos de superfície, adição de contaminantes, entre outros. Os resultados mostraram, tendo como base imagens obtidas por microscopia eletrônica e espectros de profilometria, que a corrosão na superfície do silício pode ser controlada utilizando uma solução 1M de NaOH em temperatura de 60ºC, com agitação. Dependendo dos parâmetros controlados, obtivemos desde superfícies altamente rugosas e grande área efetiva até estruturas de pirâmides bastante conhecidas na literatura.

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Biografia do Autor

Jorge Luis Lima, Universidade Estadual de Campinas

UNICAMP

Airton Lourenço, Universidade Estadual de Campinas

UNICAMP

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Publicado

2016-08-16

Como Citar

LIMA, J. L.; LOURENÇO, A. Estudo da corrosão anisotrópica do silício em solução 1m de NaOH. Sínteses: Revista Eletrônica do SimTec, Campinas, SP, v. 1, n. 3, p. 95–95, 2016. DOI: 10.20396/sinteses.v1i3.7731. Disponível em: https://econtents.bc.unicamp.br/inpec/index.php/simtec/article/view/7731. Acesso em: 28 set. 2022.

Edição

Seção

Eixo 2 - Área de Exatas e Tecnológicas