Souza R, Nogueira WA, Filho S dos S. Nano-oxidação do silício: influência dos processos de crescimento convencional e pirogênico na qualidade e na uniformidade dos óxidos finos obtidos em superfícies irregulares contendo degraus abruptos . Phys [Internet]. 1º de janeiro de 2006 [citado 1º de maio de 2024];6(1):1-8. Disponível em: https://econtents.bc.unicamp.br/inpec/index.php/physicae/article/view/13440