Souza, R., W. A. Nogueira, e S.G. dos Santos Filho. “Nano-oxidação Do silício: Influência Dos Processos De Crescimento Convencional E Pirogênico Na Qualidade E Na Uniformidade Dos óxidos Finos Obtidos Em superfícies Irregulares Contendo Degraus Abruptos ”. Physicae 6, no. 1 (janeiro 1, 2006): 1–8. Acessado maio 1, 2024. https://econtents.bc.unicamp.br/inpec/index.php/physicae/article/view/13440.