SOUZA, R.; NOGUEIRA , W. A.; FILHO , S.G. dos Santos. Nano-oxidação do silício: influência dos processos de crescimento convencional e pirogênico na qualidade e na uniformidade dos óxidos finos obtidos em superfícies irregulares contendo degraus abruptos . Physicae, [S. l.], v. 6, n. 1, p. 1–8, 2006. DOI: 10.5196/physicae.6.4. Disponível em: https://econtents.bc.unicamp.br/inpec/index.php/physicae/article/view/13440. Acesso em: 1 maio. 2024.