Souza, R. ., Nogueira , W. A. ., & Filho , S. dos S. . (2006). Nano-oxidação do silício: influência dos processos de crescimento convencional e pirogênico na qualidade e na uniformidade dos óxidos finos obtidos em superfícies irregulares contendo degraus abruptos . Physicae, 6(1), 1–8. https://doi.org/10.5196/physicae.6.4