Ewald TC, Orio RL de. Estudo do impacto de air gaps nas propriedades elétricas das interconexões de circuitos integrados. revpibic [Internet]. 18º de fevereiro de 2019 [citado 3º de maio de 2024];(26). Disponível em: https://econtents.bc.unicamp.br/eventos/index.php/pibic/article/view/1264