Preparação e determinação de propriedades termomecânicas de TiO2 para aplicação em células solares

Resumo

Foram preparados filmes compactos de dióxido de titânio por Deposição por Camadas Atômicas (ALD) para aplicação como blocking layer e camada antirrefletora para células solares. Os filmes foram depositados a 200°C e recozidos a 300°C, 400°C e 500°C. Foram feitas caracterizações das propriedades termomecânicas a partir de medidas da tensão residual em função da temperatura para uma variedade de substratos, a partir da qual se obtém o coeficiente de dilatação térmica dos filmes; e nanoindentação, a partir do qual se determina o módulo de Young e a razão de Poisson dos filmes.